Produkte

Quarzglasteile für die Halbleiter- und Solarindustrie

• Teile aus Quarzglas für alle gängigen Ofensysteme (vertikal und horizontal)
• Tanks und Zubehör für Nassätzprozesse

Ersatzteile für Single Wafer Dry Etch & CVD

• Quarz-, Silizium- und Keramikteile für AMAT, TEL und LAM Anlagen

CVD SiC Dummy Wafer

Ceramic Sprayed Electro Static Chucks (ESC)

Siliziumteile für Ofenprozesse

• Boote, Liner & Injektoren aus Silizium für CVD und Hochtemperaturanwendungen

Lithographie

• Laserhead refurbishment für Zygo und HP

Ersatzteile für Ionenimplanter