Produkte
Quarzglasteile für die Halbleiter- und Solarindustrie
- Teile aus Quarzglas für alle gängigen Ofensysteme (vertikal und horizontal)
- Tanks und Zubehör für Nassätzprozesse
Ersatzteile für Single Wafer Dry Etch & CVD
- Quarz-, Silizium- und Keramikteile für AMAT, TEL und LAM Anlagen
CVD SiC Dummy Wafer
Ceramic Sprayed Electro Static Chucks (ESC)
Siliziumteile für Ofenprozesse
- Boote, Liner & Injektoren aus Silizium für CVD und Hochtemperaturanwendungen
Lithographie
- Laserhead refurbishment für Zygo und HP
Ersatzteile für Ionenimplanter