Ceramic Spray Electro Static Chuck

  • Lebensdauer bis zu 3 Jahren, 1 Jahr Garantie
  • Einfache Installation, "plug and play"
  • Waferless in-situ clean
  • Lösungen für dechuck-Probleme
  • 60% weniger Stillstandszeiten (tool down)
  • insgesamt 40% weniger Kosten als Polyimid Chuck