EnglishCeramic Spray Electro Static Chuck
- Lebensdauer bis zu 3 Jahren, 1 Jahr Garantie
- Einfache Installation, "plug and play"
- Waferless in-situ clean
- Lösungen für dechuck-Probleme
- 60% weniger Stillstandszeiten (tool down)
- insgesamt 40% weniger Kosten als Polyimid Chuck
